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设备有一个 XY 平台，共有超过 15 个运动轴。晶圆探针检测需要非常精准的测量，因此必须保证系统内的电磁噪声超小。客户不希望采用体积庞大、价格昂贵且需要大量时间来开发、组装和测试的外部 EMI 滤波组件。此外，运动整定时间小于 30 毫秒和静止抖动小于 100 纳米，同时提高整体机器产能。 解决方案： a.选择Gold Solo Bell 伺服驱动器和 Platinum Maestro 多轴运动控制器 b. 选择 Gold Solo Bell 伺服驱动器，因为它足够小，可以安装在机器内和移动负载上，并且足够坚固，可以承受机械冲击和高加速度。将驱动器安装在机器内部无需电缆和电缆载体进出机器，并且无需电气柜，这些使得整个机器尺寸减少了大约 30%。 c. 使用Gold Solo Bell，机器的运动整定时间减少到10ms以下，静止抖动小于20nm，大大低于要求。 该驱动器的极高功率转换效率使机器本身更加高效，无需使用需要持续维护的耗能冷却方法。 e. Platinum Maestro 被选为机器运动轴的主控制器。 卓越的伺服驱动器和多轴控制能力相结合，缩短了探针之间的时间，显着提高了整体产能。
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